消除微裂紋與崩邊！半導體石英與先進陶瓷的無應力切削利器

盛方源（SFY CNC）超音波加工中心將高剛性機體結構與先進的「高頻微震動技術」完美結合。本系列專為突破傳統銑削的物理極限而生，是加工全球最棘手、不具延展性材質的終極利器。透過將切削阻力降至最低，透過客製化半導體加工中心機(半導體CNC)我們協助半導體與光電產業在最脆弱的零件上，實現毫無瑕疵的完美良率。

超音波技術的核心優勢：徹底告別微裂紋與崩邊

使用傳統主軸加工石英與先進陶瓷，往往會導致材料碎裂報廢。我們的超音波技術從根本改變了切削力學：

• 完美的邊緣完整性（零崩邊）： 連續的高頻微震動能大幅消除切削時產生的殘留應力，徹底防止邊緣崩角、表面碎裂與亞表面微裂紋 (Micro-cracking)，確保脆弱晶圓載具與玻璃元件的結構強度。
• 極致的表面粗糙度 (Ra)： 超音波刀具的脈衝切削能創造更平順的加工路徑，直接達到極佳的光學級表面平滑度，大幅減少甚至免除後續耗時的拋光工序。
• 刀具自潔排塵效能： 加工脆性材料會產生極具研磨性的陶瓷粉塵。超音波震動能防止這些粉塵沾黏並堆積在刀具上，這項「自潔」效應能有效避免熱量積聚，顯著延長鑽石刀具的壽命。

專屬應用領域：絕對制霸硬脆材料

我們的超音波加工中心嚴格鎖定「材料脆性」為主要生產瓶頸的高精密製造領域：

• 半導體與光電產業： 加工矽晶圓 (Si)、碳化矽 (SiC)、石英晶舟與載具、藍寶石玻璃以及高精密光學透鏡的必備平台。
• 先進工業陶瓷： 高效對氧化鋁 (Al2O3)、氧化鋯 (ZrO2) 與氮化鋁 (AlN) 等用於高科技絕緣體與特殊耐磨件的精密陶瓷，進行鑽孔、銑削與輪廓加工。

超音波 CNC 加工技術常見問題